微探针平台可用于研究材料在不同温度下的电学及光学性质, 典型的应用包含深能级瞬态谱,IC,MEMS, 红外探测器,显微操作等
主要参数:
1. 探针类型:钨探针或光纤
2. 可控探针数:2~7
3. 探针移动范围:25 mm x 25 mm x 6 mm
4. 定位精度:50um
5. 温度:70~730K;80~580K;70~580K;80~730K;室温~730K(可选)温度稳定度:<=0.05K
6. 温度响应:1K/sec
7. 致冷片:10X14 mm