微探针平台可用于研究材料在不同温度下的电学及光学性质, 典型的应用包含深能级瞬态谱,IC,MEMS, 红外探测器,显微操作等

主要参数：

1． 探针类型：钨探针或光纤

2． 可控探针数：2~7

3． 探针移动范围：25 mm x 25 mm x 6 mm

4． 定位精度：50um

5． 温度：70~730K；80~580K；70~580K；80~730K；室温~730K（可选）温度稳定度：<=0.05K

6． 温度响应：1K/sec 

7． 致冷片：10X14 mm